真空离子氮化的特点是：

1）渗氮速度较快，可适当缩短渗氮周期，离子氮化时间短，能缩短到气体氮化时间的1/3～2/3。。

2）渗氮层脆性小，离子氮化表面形成的白层很薄，甚至没有，另外引起的变形小，特别适宜于形状复杂的精密零件。

3）易于实现局部氮化，非渗氮部位便于保护，采用机械屏蔽、用铁板隔断保护。

4）离子轰击有净化表面作用，自动去除钝化膜，不锈钢、耐热钢材料无需预先去除钝化膜，可使不锈钢、耐热钢工件直接渗氮。

5）化合物层结构、渗层厚度和组织可以控制。

6）处理温度范围较宽，即使在350℃以下也能获得一定厚度的渗氮层。

7)劳动条件有所改善，无公害、离子渗氮处理在很低的压力下进行，排出的废气极少。

8）可以适用于各种材料，包括要求氮化温度高的不锈钢、耐热钢，以及氮化温度较低的工模具(工具钢)和精密零件，而低温氮化对气体氮化来说是相当困难的。